ARGOS matrix 200 automated surface inspection
ARGOS ist unsere Lösung für eine automatisierte Oberflächeninspektion nach ISO 10110-7. Gegenüber der klassischen manuell-visuellen Kontrolle durch Sichtprüfer:innen bietet ARGOS viele Vorteile. ARGOS matrix ist die beste Lösung für die automatisierte Prüfung von optischen Elementen in allen Größen und Formen!
Haben Sie Interesse an weiteren Informationen zum Thema automatisierte, objektive und reproduzierbare Oberflächeninspektion? Kontaktieren Sie unseren Experten Dr. Roland Goschke!

Es berät Sie: Dr. Roland Goschke | Tel.: +49 6201 650 40-292

↓ Die ARGOS-Gerätefamilie
↓ Oberflächenprüfung mit ARGOS: objektiv, reproduzierbar und schnell
↓ Anwendungsbereiche

automated surface inspection device

Die ARGOS-Gerätefamilie

ARGOS matrix 200 – Die optimale Lösung für alle Optiken und die automatische Serienprüfung

ARGOS matrix 200 ermöglicht dank des integrierten XY-Lineartisches die automatisierte Oberflächeninspektion und Überprüfung auf scratch/dig Defekte dutzender oder sogar hunderter Elemente ohne Benutzerinteraktion.
Die einzelnen Bauteile werden auf Kassetten mit nummerierten Kavitäten platziert und nacheinander automatisch geprüft. Während der Prüfdauer für einen Probenträger von 30 bis ca. 60 min für viele Proben wird kein Operator-Input benötigt! Für jede optische Komponente wird vom System automatisch ein detaillierter Prüfbericht erstellt. Ein Sammelbericht fasst zudem die wichtigsten Ergebnisse zusammen, insbesondere Pass/Fail für jedes einzelne Element.

Es können Defekte bis 2 µm erfasst und somit Spezifikationen bis 5/1×0.016 geprüft werden. Defekte der 3 nächstkleineren Stufen (also 0.01, 0.0063, 0.004) werden dabei, wie von der ISO 10110-7 gefordert, berücksichtigt. Durch die Kombination mehrerer Beleuchtungstechniken werden auch schwer sichtbare und kleine Defekte (bis 1 µm) wie etwa feine Kratzer oder Wischer sicher detektiert. Möglich ist die Prüfung von Planoptiken, sphärischer und asphärischer Linsen, sowie von Prismen. Darüber hinaus können auch Defekte in Kittflächen oder im Volumen gefunden werden.

Durch das eingebaute automatische Multi-View Stitching können große Prüflinge bis 205×205 mm mit voller nomineller Auflösung geprüft werden. Das System erzeugt dabei aus einer Vielzahl kleinerer Messungen einen Prüfbericht der gesamten Oberfläche. Innerhalb der zu prüfenden Oberfläche können mehrere Prüfbereiche mit unterschiedlichen Anforderungen definiert werden.
Sie möchten noch größere Optiken vermessen? Mit ARGOS matrix 400 können Prüflinge bis 400×400 mm mit voller nomineller Auflösung geprüft werden. Auch mit diesem Gerät ist die automatisierte Prüfung von beliebig vielen Teilen auf einem Träger mit einem max. Prüfbereich von 400×400 mm möglich.
Das modulare System passen wir bei Bedarf individuell an Ihre Bedürfnisse an. Sind Sie an einer Serienprüfung weniger unterschiedlicher Optiken interessiert? Durch genaue Anpassung der Auflösung des Systems an Ihre Anforderungen können wir die Prüfdauer optimieren. Um beispielsweise Löcher und Defekte in Chrommasken zu detektieren, bietet sich eine Ergänzung des Systems um ein Durchlichtmodul an.
Sprechen Sie uns an!

Mehr über die automatisierte Serienprüfung mit ARGOS matrix erfahren Sie auch in unserem
ARGOS matrix 200 Produktblatt.


ARGOS fiber cable – Prüfung von Faserendflächen

Mit ARGOS fiber cable werden Faserendflächen schnell und zuverlässig geprüft. Das hochauflösende Scannen der Endflächen von Lichtleitkabeln mit standardisiertem Stecker (z.B. QBH) ermöglicht die Detektion von Verschmutzung und Defekten bis 1 µm. Der Messkopf ist dabei identisch zu unserem hochauflösenden Modell ARGOS 200, so dass auch kleinste Partikel und Einbrände sauber detektiert werden.

Defects on an optical surface

Oberflächenprüfung mit ARGOS:
objektiv, reproduzierbar und schnell

Bis heute ist der Industriestandard für die Oberflächeninspektion nach ISO 10110-7 die manuell-visuelle Inspektion. Gerade bei Präzisionsoptiken mit hohen Anforderungen an Genauigkeit und Dokumentation ist dies eine Schwachstelle in der Produktionskette. Die Ergebnisse sind subjektiv und hängen von vielen Faktoren ab, wie z.B. Ermüdung und Konzentration der Prüfer. An dieser Stelle kann unser automatisiertes und objektives Inspektionssystem ARGOS die Ergebnisse und die Zuverlässigkeit der optischen Prüfung verbessern.

↓ Ihre Vorteile durch automatisierte Oberflächeninspektion
↓ Prozesssicherheit und Prozessverbesserung durch digitalisierte Prüfung
↓ Intuitive Bedienung – Oberflächeninspektion mit einem Klick

ARGOS - automated surface inspection

Ihre Vorteile durch automatisierte Oberflächeninspektion

Mit ARGOS bieten wir Ihnen eine bedienerunabhängige und automatisierte Prüfung nach ISO 10110-7. Die Ergebnisse sind objektiv und reproduzierbar. Langwierige Diskussionen, die durch unterschiedliche Einschätzungen der Größe einzelner Defekte entstehen, oder aufwendige Analysen unter dem Mikroskop können nun vermieden werden. Unangenehme Streitigkeiten mit Kunden oder Lieferanten können anhand objektiver reproduzierbarer Messergebnisse schnell zu beiderseitiger Zufriedenheit beigelegt werden.

Alle Ergebnisse werden in detaillierten pdf-Prüfberichten dokumentiert. Ob in der Wareneingangskontrolle oder Qualitätssicherung, die Prüfung mit ARGOS gibt Ihnen Prozesssicherheit und erlaubt es Ihnen, Fehler frühestmöglich zu erkennen. Durch die gute Dokumentation haben Sie auch einen ausführlichen Qualitätsnachweis für Ihre Lieferanten und Kunden. Immer mehr Unternehmen fordern eine Rückverfolgbarkeit in der Prozesskette auch für optische Teile. ARGOS kann Ihnen dabei helfen, indem es Seriennummern und Prozessschritte zurückverfolgt.

Durch die Automatisierung Ihrer Oberflächeninspektion können Sie Geld und Zeit sparen. Während ARGOS eine Vielzahl von Elementen automatisch ohne Benutzerinteraktion prüft, werden Ihre wertvollen Mitarbeiter*innen entlastet. Mit ARGOS garantieren Sie auch langfristig gleichhohe Qualitätsstandards und reduzieren Ihre Abhängigkeit von einzelnen Mitarbeitern mit dem „Golden Eye“.

ARGOS eignet sich zur Prüfung aller praktisch relevanten Spezifikationen für die Sauberkeit von Oberflächen. Prüfungen sind bis 5/1×0.016 nach allen Regeln der ISO 10110-7 möglich. Selbst kleinste Defekte bis 1 µm Größe können zuverlässig erfasst werden. Ab einer Größe von etwa 2,5 µm ist eine zuverlässige Größenbestimmung möglich.

Die Automatisierung Ihrer Oberflächeninspektion nach ISO 10110-7 bietet Ihnen viele Vorteile: Die Objektivität des Systems verbessert die Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Prüfung erheblich und trägt dazu bei, die Kosten für verschrottete Teile zu senken. ARGOS arbeitet unbeaufsichtigt und kann mit unerfahrenem Personal bedient werden, wodurch Kosten für teure, hochqualifizierte Arbeitskräfte eingespart werden. Zudem sind die detaillierten Prüfberichte mit Bildern der identifizierten Defekte für viele unserer Kunden sehr nützlich, um Fertigungsprozesse weiter zu verbessern.

ARGOS Test Report

Prozesssicherheit und Prozessverbesserung durch digitalisierte Prüfung

Mit dem Einsatz von ARGOS wird der Inspektionsprozess weitgehend unabhängig von Subjektivität und menschlichen Fehlern. ARGOS trifft eindeutige und objektive Pass/Fail Entscheidungen. Für jede Inspektion wird automatisch ein detaillierter Prüfbericht erzeugt, die Ergebnisse werden übersichtlich und nachvollziehbar dokumentiert.

Die benutzerunabhängige und digitalisierte Prüfung verschafft Prozesssicherheit durch reproduzierbare und objektive Ergebnisse. Reklamationen von Kunden können von vornherein verhindert oder als unberechtigt abgewiesen werden. Die Möglichkeit, Ihrem Kunden eine Dokumentation der Prüfung der Oberflächenspezifikation nach ISO 10110-7 mitzuliefern, schafft Vertrauen und unterstreicht Ihren Qualitätsanspruch. Umgekehrt können defekte Komponenten in der Wareneingangskontrolle durch Prüfung mit ARGOS zuverlässig aussortiert und beim Zulieferer reklamiert werden.

Das ARGOS-System kann direkt an Ihr Qualitätssicherungssystem angebunden werden. So ist eine vollständige Absicherung und Dokumentation der Prozesskette gewährleistet. Dadurch wird auch die notwendige Datenbasis geschaffen, um mithilfe statistischer Methoden die Prozess- und Produktqualität nachverfolgen zu können, Abweichungen z.B. im Beschichtungsprozess werden erkannt, bevor diese zu einem Problem werden.

ARGOS bietet durch die Digitalisierung der Oberflächeninspektion Analysemöglichkeiten, die über die Anforderungen der ISO 10110-7 hinausgehen. Durch Auswertung von Partikeldichten und Histogrammen können beispielsweise Beschichtungsprozesse optimiert werden. Hierfür ist die Erfassung auch großer Flächen bis 200 mm Durchmesser inklusive Auszählung aller Partikel und Defekte in wenigen Minuten möglich.

ARGOS Prüfberichte können leicht an Kundenanforderungen angepasst werden und stehen in verschiedenen Formaten zur Verfügung. Dabei gibt es sowohl übersichtliche PDF-Berichte als auch Datenformate, die sich gut für die weitere Datenanalyse eignen, weil sie maschinenlesbar sind.

Intuitive Bedienung – Oberflächeninspektion mit einem Klick

Die Software ARGOS Pro ist intuitiv gestaltet und mit einer klaren und einfachen Nutzerführung versehen. Die Bedienung von ARGOS kann in wenigen Stunden erlernt werden und ist auch für Nutzer ohne tiefergehende Kenntnisse des Systems problemlos möglich.

Inspektionsaufgaben werden in Profilen definiert. Diese Messrezepte enthalten alle nötigen Parameter des Prüflings, wie Durchmesser, freie Apertur oder Krümmungsradius. Auch das Hinterlegen Ihrer spezifischen Parameter wie Zeichnungs-, Teile- oder Materialnummern ist möglich. Bei ↓ ARGOS matrix mit Automatisierung sind im Profil auch die Positionen der Prüflinge in einer Kassette hinterlegt, so dass die Inspektion aller Prüflinge in der Kassette ohne weitere Bedienung des Gerätes vollautomatisch abläuft.

Der Bediener wählt dann nur noch das passende Profil aus und startet die Prüfung. Einfacher kann objektive Oberflächeninspektion nicht sein!
Das Gesamtergebnis der Prüfung ist eindeutig und auf der Benutzeroberfläche und im erzeugten Prüfbericht klar hervorgehoben. Darüber hinaus stehen dem Bediener hilfreiche Visualisierungen zur Verfügung, um beispielsweise nachzuvollziehen, warum ein Prüfling nicht in Ordnung ist oder auch um die Defektentwicklung von Gut-Teilen über mehrere Prozessschritte hinweg zu untersuchen.

Anwendungsbereiche

ARGOS-Systeme können für viele verschiedene Anwendungen eingesetzt werden. Die Prüfung von optischen Elementen nach ISO 10110-7 ist dabei unser Standard – aber keineswegs die einzige Möglichkeit.
Sie haben eine Inspektionsaufgabe für ein Bauteil mit polierten Oberflächen? ARGOS ist bewusst offen angelegt, um leicht auf kundenspezifische Bedürfnisse angepasst werden zu können. Egal ob Ihre Bauteile aus Glas, Kunststoff, Metall oder Halbleitern gefertigt sind – wenn Sie Fehler oder Verschmutzungen von Oberflächen erfassen möchten, ist ARGOS die richtige Wahl. Auswertungen können nach nahezu beliebigen Spezifikationen erfolgen. Sprechen Sie uns an!

↓ Planoptiken
↓ Wafer
↓ Sphärische und asphärische Linsen, Zylinderlinsen, Volumina
↓ Mikrooptiken
↓ Montage optischer Komponenten
↓ Faserendflächen

Automatisierte Serienprüfung mit ARGOS Matrix

Planoptiken

↓ ARGOS matrix ist ideal für die unbestechliche Inspektion von Planoptiken wie Spiegel, Filter oder Schutzgläser geeignet. Besonders bei harten Spezifikationen kann das Inspektionssystem seine Stärken voll ausspielen. So ist ARGOS beispielsweise bestens geeignet für Komponenten von Hochleistungs-Laseranlagen, bei denen selbst kleinste Staubkörner zu Defekten führen können.
Mit dem ARGOS matrix Messkopf können Defekte bis 2 µm erfasst und somit Spezifikationen bis 5/1×0.016 geprüft werden. Defekte der 3 nächstkleineren Stufen (also 0.01, 0.0063, 0.004) werden dabei, wie von der ISO 10110-7 gefordert, berücksichtigt. Neben dem Auffinden von echten Defekten ist auch die Detektion von Verschmutzungen zuverlässig möglich. Die Komponenten werden mit einem Schnappschuss aufgenommen, was zu einer extrem schnellen Prüfung führt (siehe auch ↓ Mikrooptiken).

Für größere Proben bis zu 205×205 mm eignet sich ↓ ARGOS matrix 200. Dieses System ermöglicht außerdem die automatische Prüfung von vielen Planoptiken in einer Kassette bis hin zu ganzen Produktionschargen auf einmal – ohne weitere Nutzerinteraktion.

ARGOS 200 for wafer inspection

Wafer

Auch in der Optikindustrie werden Bauteile zunehmend auf Wafern produziert und erst später vereinzelt. Mit ↓ ARGOS matrix 200 ist die Prüfung von Glas- oder Silizium-Wafern bis 200 mm (bzw. 8“) Durchmesser möglich. Für die Auswertung gibt es verschiedene Möglichkeiten:

  • Prüfung der gesamten Oberfläche auf eine Spezifikation nach ISO 10110-7
  • Statistische Auswertung von Partikel- oder Defektgrößenverteilungen und Dichten zur Prozessanalyse
  • Bewertung von beliebig vielen Teilbereichen der Gesamtfläche nach ISO 10110-7 und Zusammenfassung der Ergebnisse in einem Prüfbericht.

Gerade bei der Beschichtung dünner Wafer kommt es oft zu einer Verformung der Oberfläche. Die tatsächliche Form der Oberfläche wird von ARGOS berührungslos und präzise vermessen. Dadurch wird einerseits die Form der Oberfläche dokumentiert, andererseits ist sichergestellt, dass ARGOS immer optimal fokussiert wird.

Auch für Wafer-level Optics ist ↓ ARGOS matrix 200 ideal geeignet. Hier werden alle Einzelelemente auf einem Wafer vollautomatisch in einzelnen Messungen charakterisiert und als Ergebnis sowohl einzelne Prüfberichte für jedes Element erzeugt als auch eine Karte mit markierten Gut- und Schlecht-Teilen.

Scratch-dig inspection of a lens with ARGOS

Sphärische und asphärische Linsen, Zylinderlinsen, Volumina

Für die Prüfung von gekrümmten Oberflächen von Linsen oder das Auffinden von Defekten im Volumen verwenden alle ARGOS-Systeme ein automatisches Fokus-Stacking. Da die hohe Auflösung des ARGOS-Messkopf eine begrenzte Schärfentiefe bedingt, werden hierfür mehrere Scans mit verschiedenen Lagen der Fokusebene der Kamera erzeugt und von der Software kombiniert.

Mit dieser Technologie kann die Position von Defekten in der Tiefe bis zu 50 µm genau bestimmt werden. Das ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen:

  • Prüfung von sphärischen oder asphärischen Oberflächen mit nahezu beliebiger Form
  • Prüfung von Vorder- und Rückseite von (mindestens) einseitig planen Elementen in einem Durchgang und ohne Wenden – mit klarer Zuordnung der Defekte zu Vorder- oder Rückseite
  • Analyse von Volumendefekten wie Luftblasen in Kunststoff-Spritzgussteilen und Unterscheidung von Oberflächendefekten
  • Prüfung von Kittflächen bei Achromaten und Strahlteilern
  • Prüfung von Prismen.

Durch die Verwendung verschiedener Beleuchtungskonfigurationen und deren Kombination können nahezu alle Topologien geprüft werden.
Mit dem ARGOS matrix Messkopf können Defekte bis 2 µm erfasst und somit Spezifikationen bis 5/1×0.016 geprüft werden. Defekte der 3 nächstkleineren Stufen (also 0.01, 0.0063, 0.004) werden dabei, wie von der ISO 10110-7 gefordert, berücksichtigt.
Kleine gekrümmte Optiken bis 25 mm Durchmesser können mit ↓ ARGOS matrix geprüft werden, für größere Optiken bis 205×205 mm und die automatische Prüfung einer Vielzahl kleinerer Optiken eignet sich ↓ ARGOS matrix 200.

Using ARGOS Matrix for automated inspection of optics

Mikrooptiken

Mikrooptiken mit Durchmessern ab etwa 1 mm können sehr effizient mit unserem ↓ ARGOS matrix System geprüft werden. Dabei werden Oberflächen in einem Schuss aufgenommen, was eine sehr schnelle Prüfung ermöglicht. Das ARGOS matrix System ist modular. Es stehen mehrere Bildfeld-Optionen und verschiedene Beleuchtungen zur Verfügung, welche eine genaue Anpassung an Ihre Mess- und Automatisierungsanforderungen ermöglichen. Speziell bei der Prüfung von Mikrooptiken können so höchste Auflösungen erreicht und bei Bedarf auch Defekte unterhalb von 1 µm Größe noch sicher erkannt werden.

Da bei Mikrooptiken das Handling einzelner Bauteile wesentlich schwieriger ist, wurde das ARGOS matrix System bewusst so entwickelt, dass Bauteile in verschiedenen Trägern oder Haltern geprüft werden können. So ist es beispielsweise möglich, bestückte Beschichtungshalter in das Gerät einzulegen um so alle Optiken vor und nach der Beschichtung zu prüfen.

Montage optischer Komponenten

In Produktionsprozessen, bei denen z.B. Filter oder Schutzgläser hermetisch mit einer anderen optischen Komponente verbunden werden, ist es von großer Wichtigkeit, eingeschlossene Partikel zu vermeiden. Dies kann mit einem ↓ ARGOS matrix System auf schnelle und sichere Weise direkt am Montageplatz mit wenigen Messungen garantiert werden. Hierbei werden beide Seiten des Filters/Schutzglases sowie die zu verschließende Oberfläche, beispielsweise ein Sensor, mit ARGOS matrix gescannt, bei Bedarf gereinigt, dann montiert und abschließend über eine weitere Messung nachgewiesen, dass keine Partikel eingeschlossen wurden.

ARGOS Fiber Cable endcap contamination inspection

Faserendflächen

Für die Endflächen von Lichtleitkabeln, wie sie in Anlagen zum Laserschneiden und -schweißen von Metallen zum Einsatz kommen, gelten hohe Sauberkeitsanforderungen. Aufgrund der hohen Laserleistung können selbst kleinste Verunreinigungen zu Beschädigungen von Beschichtungen und Bauteilen führen.

Unsere Lösung ↓ ARGOS fiber cable für die Prüfung von Faserendflächen erlaubt auch die Prüfung von starren, wassergekühlten Fasern mit standardisierten Steckern (z.B. QBH). Die Geometrie des ARGOS-Systems ist dabei angepasst, um ein leichtes Handling zu ermöglichen. Endflächen mit einem Durchmesser bis 22 mm können in wenigen Sekunden geprüft werden. Selbst Defekte und Partikel mit einer Größe von 1 µm werden sicher erkannt. Auch typische Fehler wie pits und burn marks können mit ARGOS zuverlässig detektiert werden.