Infrarot-Mikroskopobjektive für Thermografie


2020-11-27

Seit über sieben Jahren entwickelt und fertigt DIOPTIC Spezialobjektive für Infrarot-Kameras. Das Spektrum reicht dabei von Festbrennweitenobjektiven über Endoskope bis hin zu Thermografie-Mikroskopobjektiven mit hoher Vergrößerung.

Unser spezielles Know-How sind Infrarot-Mikroskopobjektive für höchste Anforderungen in der passiven und aktiven Thermografie, die beispielsweise bei der Qualitätsprüfung von Leiterbahnen oder Chips in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen. Hier werden üblicherweise Kameras mit aktiv gekühlten Sensoren im MWIR-Spektralbereich (3-5.5 µm) eingesetzt, um kleinste Temperaturerhöhungen von Strukturen beim Anlegen eines Signals bzw. Stroms zu detektieren.

Bester Kontrast für gekühlte Infrarot-Sensoren mit Kaltblende

Unsere Mikroskopobjektive sind ausgelegt für die Verwendung mit gekühlten VGA-Sensoren zum Beispiel von SCD oder Lynred. In diesen Sensoren ist eine feste Blende integriert, die mit dem Sensor gekühlt wird und so besonders wenig störende Eigenemission aufweist. Um eine bestmögliche Bildqualität mit guten Kontrasten zu erreichen sind unsere Objektive mit niedrigen Vergrößerungen so ausgelegt, dass diese Kaltblende auch das Gesamtsystem begrenzt. Bei höheren Vergrößerungen setzen wir speziell auf das Sichtfeld des Sensors angepasste Goldspiegel ein, die das thermische Streulicht aus dem Objektiv minimieren.

Spezifikationen MWIR

Hohe Transmission und großer Vergrößerungsbereich

Die DIOPTIC Objektivserie umfasst derzeit fünf Mikroskope, die einen Vergrößerungsbereich von 0.25x bis 10x abdecken und erlaubt so Thermografie auch an kleinsten Strukturen. Durch die aufwendigen Beschichtungen der Linsen erreichen wir eine Gesamttransmission der Infrarot-Mikroskopobjektive von über 70%!

Qualitätssicherung durch Prüfung mit CGH und ARGOS

In den Objektiven werden asphärische Linsen eingesetzt, um beste Abbildungsleistungen bei Verwendung von möglichst wenigen Elementen zu erreichen. Natürlich hilft uns hier DIOPTIC-Technologie, die Qualität der Infrarot-Mikroskopobjektive kontinuierlich auf höchstem Niveau zu halten: Formabweichungen der asphärischen Oberflächen werden durch interferometrische Messungen mit DIOPTIC-CGHs ausgeschlossen, während Oberflächen-Defekte wie Kratzer auf den Linsen mit unserem ARGOS-System zuverlässig detektiert werden.

Kundenspezifische Schnittstellen für die Infrarot-Mikroskopobjektive sind auf Anfrage gerne möglich.

ARGOS matrix 200