ARGOS matrix 200 und 400
ARGOS ist die flexibelste Lösung auf dem Markt für die automatische Oberflächenprüfung von optischen Präzisionskomponenten. Damit lassen sich eine Vielzahl optischer Komponenten von Asphären bis hin zu Spiegeln prüfen. Zudem bietet das ARGOS-System eine automatisierte Batch-Prüfung von mehreren Teilen sowie die einfache Prüfung einzelner Optiken. Das modulare Design ermöglicht die individuelle Anpassung des Prüfbereichs und der Auflösung an Ihre Anwendung.
Unsere ARGOS matrix Systeme
ARGOS matrix 200
Mit unserem Standard-Tischsystem ARGOS matrix 200 können Sie eine Vielzahl von Prüfungen mit nur einem Gerät durchführen. Von der Messung einzelner Komponenten bis zu ganzen Chargen von Präzisionsoptiken – den Prüfbereich von 205 x 205 mm können Sie flexibel ausnutzen. ARGOS matrix 200 ist als reinraumtaugliches Modell für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 6 erhältlich.
ARGOS matrix 400
ARGOS matrix 400 ist unsere Lösung für die Messung besonders großer Optiken sowie die Serienprüfung von noch mehr optischen Komponenten. In einem Prüfbereich von 400 x 600 mm können Optiken mit einem Gewicht von bis zu 100 kg gemessen werden. Das System ist vollständig umhaust und besitzt einen integrierten Luftfilter. Der ARGOS matrix 400 eignet sich für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 6.
Modulare Messköpfe
Die ARGOS-Systeme können bei Auslieferung modular mit verschiedenen Messköpfen (S/M/L) ausgestattet werden. Bei höchsten Anforderungen an die Auflösung eignet sich der S-Messkopf. Damit können Defekte ab 1 µm erkannt werden. Mit dem L-Messkopf können Prüflinge dagegen mit einer deutlichen Reduktion der Messzeit automatisiert geprüft werden.
Technische Daten
Der modulare Aufbau der ARGOS-Systeme ermöglicht es, zwischen verschiedenen Messkopfvarianten zu wählen. Die Auflösung des Messkopfes kann entsprechend der Prüfanforderungen und -prioritäten gewählt werden, um selbst die kleinsten relevanten Fehler sicher zu erkennen oder die Messzeit zu optimieren.
| Modularer Messkopf | S-Messkopf | M-Messkopf | L-Messkopf |
|---|---|---|---|
| Nominelle Auflösung (objektseitige Pixel-Auflösung) | 3,0 µm | 5,0 µm | 7,5 µm |
| Kamera-Bildfeld | 13,7 mm × 13,7 mm | 22,4 mm × 22,4 mm | 33,6 mm × 33,6 mm |
| Kleinste ISO 10110-7 Stufenzahl | 0,004 (allgemeine Defekte), 0,0025 (Kratzer) | 0,0063 (allgemeine Defekte), 0,004 (Kratzer) | 0,01 (allgemeine Defekte), 0,0063 (Kratzer) |
| Kleinste sichtbare Defekte 1/2 | < 1 µm | < 2 µm | < 3 µm |
| Reproduzierbarkeit der Größenmessung 1/3 | < 1,5 µm | < 3 µm | < 4,5 µm |
| Beispiel Messdauer 8″ Wafer 4 | 12 min | 4 min | 2 min |
| Beispiel Messdauer Linse, D = 30 mm, R = 30 mm 4 | 4 min | 2 min | 15 s |
| Downloads | Datenblatt |
2Kleinste sichtbare allgemeine Oberflächenunvollkommenheiten werden mit der Stufenzahl 0,0025/0,004/0,0063 bewertet.
3Reproduzierbarkeit der Größenmessung: Mittlere Standardabweichung der gemessenen Defektgrößen für 30 Wiederholungen mit derselben Kalibrierprobe.
4Messdauer der Inspektion: Die Dauer der Prüfung hängt von der Spezifikation und der Qualität der Oberfläche ab.
Die ARGOS Familie
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