ARGOS matrix Systeme
ARGOS ist die flexibelste Lösung auf dem Markt für die automatische Oberflächenprüfung von optischen Präzisionskomponenten. Damit lassen sich eine Vielzahl optischer Komponenten von Asphären bis hin zu Spiegeln prüfen. Zudem bietet das ARGOS-System eine automatisierte Batch-Prüfung von mehreren Teilen sowie die einfache Prüfung einzelner Optiken. Das modulare Design ermöglicht die individuelle Anpassung des Prüfbereichs und der Auflösung an Ihre Anwendung.
Unsere ARGOS matrix Systeme
ARGOS matrix 200 und 300
Mit unseren Tischsystemen ARGOS matrix 200 und 300 können Sie eine Vielzahl von Prüfungen mit nur einem Gerät durchführen. Von der Messung einzelner Komponenten bis zu ganzen Chargen von Präzisionsoptiken – den Prüfbereich von 205 x 205 mm bzw. 305 x 305 mm können Sie flexibel ausnutzen. ARGOS matrix 200 und 300 sind für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 6 tauglich.
ARGOS matrix 400
ARGOS matrix 400 ist unsere Lösung für die Messung besonders großer Optiken sowie die Serienprüfung von noch mehr optischen Komponenten. In einem Prüfbereich von 400 x 600 mm können Optiken mit einem Gewicht von bis zu 100 kg gemessen werden. Das System ist vollständig umhaust und besitzt einen integrierten Luftfilter. Der ARGOS matrix 400 eignet sich für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 6.
Modulare Messköpfe
Die ARGOS-Systeme können bei Auslieferung modular mit verschiedenen Messköpfen (S/M/L) ausgestattet werden. Bei höchsten Anforderungen an die Auflösung eignet sich der S-Messkopf. Damit können Defekte ab 1 µm erkannt werden. Mit dem L-Messkopf können Prüflinge dagegen mit einer deutlichen Reduktion der Messzeit automatisiert geprüft werden.
Systemgrößen
| ARGOS matrix | 200 | 300 | 400 |
|---|---|---|---|
| Maximaler Prüfbereich | 205 mm x 205 mm | 305 mm x 305 mm | 600 mm x 400 mm |
| Systemgröße (L x W x H) | 645 mm x 520 mm x 700 mm | 845 mm x 720 mm x 700 mm | 1510 mm x 1085 mm x 2322 mm |
| Nennleistungsaufnahme / Typische Leistungsaufnahme | 1140 W / 400 W | 1140 W / 400 W | 1360 W / 500 W |
Messkopfvarianten
Der modulare Aufbau der ARGOS-Systeme ermöglicht es, zwischen verschiedenen Messkopfvarianten zu wählen. Die Auflösung des Messkopfes kann entsprechend der Prüfanforderungen und -prioritäten gewählt werden, um selbst die kleinsten relevanten Fehler sicher zu erkennen oder die Messzeit zu optimieren.
| Messkopf | S-Messkopf | M-Messkopf | L-Messkopf |
|---|---|---|---|
| Nominelle Auflösung (objektseitige Pixel-Auflösung) | 3,0 µm | 5,0 µm | 7,5 µm |
| Kamera-Bildfeld | 13,7 mm × 13,7 mm | 22,4 mm × 22,4 mm | 33,6 mm × 33,6 mm |
| Kleinste ISO 10110-7 Stufenzahl | 0,004 (allgemeine Defekte), 0,0025 (Kratzer) | 0,0063 (allgemeine Defekte), 0,004 (Kratzer) | 0,01 (allgemeine Defekte), 0,0063 (Kratzer) |
| Kleinste sichtbare Defekte 1/2 | < 1 µm | < 2 µm | < 3 µm |
| Reproduzierbarkeit der Größenmessung 1/3 | < 1,5 µm | < 3 µm | < 4,5 µm |
| Beispiel Messdauer 8″ Wafer 4 | 12 min | 4 min | 2 min |
| Beispiel Messdauer Linse, D = 30 mm, flach 4 | 18 s | 11 s | 7 s |
| Beispiel Messdauer Linse, D = 30 mm, R = 30 mm 4 | 4 min | 2 min | 15 s |
| Downloads | Datenblatt |
2Kleinste sichtbare allgemeine Oberflächenunvollkommenheiten werden mit der Stufenzahl 0,0025/0,004/0,0063 bewertet.
3Reproduzierbarkeit der Größenmessung: Mittlere Standardabweichung der gemessenen Defektgrößen für 30 Wiederholungen mit derselben Kalibrierprobe.
4Messdauer der Inspektion: Die Dauer der Prüfung hängt von der Spezifikation und der Qualität der Oberfläche ab.
Die ARGOS-Familie
Weitere Produkte