Oberflächentemperaturen oder Wärmeflüsse über Thermografiesysteme sichtbar zu machen, ist im großen Stil ein gängiges bildgebendes Verfahren – zum Beispiel bei der energetischen Untersuchung von Gebäuden. Bei der Qualitätsprüfung im Mikrobereich funktioniert das auch. Allerdings braucht es dafür herausragende Infrarotoptiken, die sich durch höchste Transmission und beste Abbildqualität auszeichnen. Genau das leistet das DIOPTIC Infrarot-Mikroskopobjektiv mit 0.25-facher Vergrößerung.
Infrarot-Mikroskopie im Grenzbereich
Für die Thermografie an kleinsten Strukturen hat DIOPTIC spezielle Infrarot-Mikroskopobjektive entwickelt, die für die Verwendung mit gekühlten MWIR VGA-Sensoren ausgelegt sind. Die aktuelle Serie umfasst fünf Objektive, deren Vergrößerungsbereich von 0.25-fach bis 10-fach reicht. Unter diesen „Best of Five” sticht das 0.25 besonders heraus. Warum? Weil die Experten von DIOPTIC hier einmal mehr in den Grenzbereich dessen vorgedrungen sind, was physikalisch machbar ist.
Vorteile der telezentrischen Auslegung
Das 0.25x ist ein telezentrisches Objektiv. Das heißt, der objektseitige Hauptstrahl verläuft parallel zur optischen Achse. Diese Auslegung hat mehrere Vorteile: Zum einen ist das Objektiv in Kombination mit der Kamera in der Lage, Objekte ohne perspektivische Verzerrung zu erfassen; der Abbildungsmaßstab bleibt auch bei axialer Objektverschiebung erhalten. Zum anderen wird das Umgebungsstreulicht erheblich minimiert. Dieser Faktor ist entscheidend, weil sich thermische Streulichteffekte negativ auf die Bildgebung auswirken.
Unerreicht bei Transmission, Kontrast und Detektion
Im Vergleich zu herkömmlichen Objektiven kann das 0.25x mit telezentrischer Abbildung seine Vorteile sichtbar ausspielen (siehe Bildbeispiele). Dank höchster Transmission und einer durchgängig detailgenauen Abbildung setzt das DIOPTIC Objektiv 0.25x bei der thermografischen Mikroskopie Maßstäbe – vor allem dort, wo es auf jeden Mikrometer ankommt. Das gilt für die Halbleiterfertigung genauso wie in anderen Feldern der Mikroelektronik und Materialbearbeitung und industriellen Messtechnik gleichermaßen. Malte Hagemann, Bereichsleiter IR-Objektive bei DIOPTIC, ist überzeugt: „Mir ist nicht bekannt, dass es am Markt etwas Vergleichbares gibt.“
Je nach Anwendung und Anforderungsprofil realisieren wir auch kundenspezifische Optiken und Infrarot-Systeme auf höchstem Niveau.
Es berät Sie:
Dr.-Ing. Malte Hagemann
Bereichsleiter IR-Objektive
Tel.: +49 6201 65040 00
ir@dioptic.de