Interferometrische Prüfung asphärischer Oberflächen mittels computergenerierter Hologramme
Zahlreiche zusätzliche Strukturen auf dem Hologramm unterstützen Sie bei der Justage der Komponenten für einen schnellen Messvorgang und ein optimales Ergebnis.
Varianten computergenerierter Hologramme für die Oberflächenprüfung
Für eine Oberflächenprüfung mit CGHs können sogenannte Diffraktive Null-Linsen (DNL) oder Diffraktive Fizeau-Null-Linsen(DFNL) zum Einsatz kommen. Welche Messmethode für eine gegebene Oberfläche am passendsten ist, wird individuell von unseren Experten geprüft und empfohlen. DFNLs werden für Linsen mit einer geringen Krümmung bevorzugt, wohingegen Oberflächen mit einer starken Krümmung oft mit einem DNL geprüft werden.
Diffraktive Null-Linsen mit Fizeau-Referenzfläche (DFNL)


Diffraktive Null Linse (DNL)

Justagehilfen für ein optimales Messergebnis 
Die Messgenauigkeit und -zeit einer Oberflächenprüfung hängt stark davon ab, wie einfach sich das CGH relativ zum Interferometer und Prüfobjekt justieren lässt. DIOPTIC CGHs sind mit einer Vielzahl an Justagehilfen ausgestattet, um schnell eine gute Ausrichtung zu erreichen, die sich dann über eine Optimierung des Wellenfrontfehlers feinjustieren lässt. Das Bild rechts zeigt eine DNL zur Prüfung einer Freiformoberfläche. Mit den angebrachten Hilfsstrukturen lässt sich das CGH sowohl einfach zum Interferometer einrichten als auch die korrekte Position und Orientierung des Prüfobjektes einstellen. Die Hilfsstrukturen werden im selben Fertigungsschritt wie das Prüfhologram aufgebracht. Dadurch wird eine Sub-Mikrometer-Genauigkeit in der Herstellung erreicht.
Die Entscheidung, welche Strukturen in welcher Beschaffenheit angebracht werden, wird für jedes CGH individuell entschieden und von unseren Experten empfohlen.
Cat-Eye-Ring

Ein Cat-Eye-Ring erzeugt eine sphärische Wellenfront, welche in sich selbst zurückreflektiert wird, wenn sich der Mittelpunkt des Prüfobjekts genau im Fokus des Strahls befindet. Die Wellenfront wird mit einem Diffraktiven Ring erzeugt, welcher sich auf dem Substrat außerhalb des eigentlichen Prüfholograms befindet. Mithilfe des Interferenzmusters lässt sich so der Abstand des Prüfobjekts mikrometergenau justieren.
Retroreflektor (nur bei DNL)

Um eine möglichst exakte Justage einer DNL zur Transmission Sphere des Interferometers zu ermöglichen, wird ein Retroreflektor-Hologram angebracht. Diese diffraktiven Strukturen außerhalb des Prüfholograms erzeugen in Reflektion eine sphärische Welle. Bei einer perfekten Justage zwischen CGH und Transmission Sphere zeigt das Interferogram minimale Aberationen. ( Durch Minimieren kann die CGH Justage durchgeführt werden.)
Zusätzliche Justagehologramme für Freiformflächen

Die Entscheidung, welche Strukturen in welcher Beschaffenheit angebracht werden, wird für jedes CGH individuell entschieden und von unseren Experten empfohlen.


Bei der Justage rotationssymmetrischer Strukturen kann man die Symmetrie ausnutzen, um die Verkippung und laterale Positionierung anhand des Prüfholograms zu justieren. Bei off-axis Asphären oder Freiformflächen ist diese Symmetrie nicht vorhanden, die korrekte Ausrichtung erfolgt dann über zusätzliche Justagehologramme.
Focusing Beam

Dabei handelt es sich um diffraktive Linsen, die einen sphärische Welle mit definiertem Fokuspunkt erzeugen. Auf dem Prüfobjekt außerhalb der Prüfoberfläche werden kleine sphärische Spiegel aufgebracht. Im Interferogramm sieht man an Hologrammen minimale Aberationen, wenn der Fokus der diffraktiven Linse und der des sphärischen Spiegels übereinstimmen, und somit die Welle in sich zurückreflektiert wird. Mit mindestens 3 dieser Hilfshologramme kann man Position und Verkippung des Prüfobjektes in allen 6 Achsen einstellen.
Alignment Spots

Collimated Beam
DNL Adjuster
TO DO: hier herausnehmen, gehört eigentlich in Produkte
